Анализ на пучках заряженных частиц

При исследовании образцов методами рентгенофлуоресцентного анализа с протонным возбуждением (PIXE) и обратного Резерфордовского рассеяния (RBS) используется ускоренный пучок ионов с энергией от 300 кэВ до 1.5 МэВ.

Метод PIXE позволяет проводить одновременное определение до 17 элементов (от Na до Zn) с пределами определения в диапазоне 10^-4 – 10^-6 г/г в зависимости от определяемого элемента и типа анализируемого образца. При этом не требуется специальная химическая подготовка. Использование метода PIXE в сочетании с протонным микрозондом (сканирующий режим) позволяет получать карты распределения элементов по поверхности образца с пространственным разрешением до 15 микрон.

Аналитические возможности метода RBS при исследовании элементного состава, как правило, ограничены анализом матричных элементов. Однако при этом имеется возможность определения в образце таких легких элементов, как C, O, N. Использование метода RBS позволяет анализировать распределение элементов по глубине образца в диапазоне от 100 нанометров до нескольких микрон.